5.4.1 特種氣體探測系統在確認氣體泄漏時，應自動關閉相關部位的氣體切斷閥，并應接受反饋信號，特種氣體站房的事故通風裝置應與其氣體泄漏和氣體切斷信號聯鎖。

5.4.2 特種氣體探測系統確認氣體泄漏時，應自動啟動泄漏現場的聲光報警裝置，該聲光報警應有別于火災報警裝置，并應自動啟動應急廣播系統。

5.4.3 特種氣體探測系統確認氣體泄漏后，應關閉有關部位的電動防火門、防火卷簾門，自動釋放門禁，可聯動閉路電視監控系統，應啟動相應區域的攝像機，并應自動錄像。

5.4.4 地震探測裝置探測到里氏5級以上地震，且兩臺地震探測裝置同時報警時，特種氣體管理系統確認收到的信號后，應啟動現場的聲光報警裝置;同時，應關閉氣瓶柜、氣瓶架、閥門箱、閥門盤的切斷閥門。

5.4.1 本條規定在確認特種氣體泄漏后，為確保生產車間和特種氣體系統的安全、應采取各項聯動控制，啟動顯示、記錄功能。一旦特種氣體泄漏后，切斷閥、事故通風裝置與氣體探測器聯動，自動啟動相應的事故通風裝置、關閉切斷閥，切斷氣體來源。特種氣體站房環境設置事故排風是因為特種氣體站房氣體儲存量較大，存在大量氣體進人房間的可能，按照國家標準《工業建筑供暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019-2015第6.4.1條，對可能突然放散大量有毒氣體、有爆炸危險氣體或粉塵的場所，應根據工藝設計要求設置事故通風系統。而在實踐中，凈化廠房及上、下技術夾層屬于空調環境，且空間較大、循環風量較大，且相對氣體量較小，為此，通常不考慮設計事故通風。
5.4.2 為了保護人員的生命安全，本條規定當氣體探測系統確認氣體泄漏時，應啟動泄漏現場的聲光報警裝置，提醒作用人員采取應急措施和迅速離開事故現場。
5.4.3 為保障生命安全，在氣體探測系統確認氣體泄漏時，本條規定通過氣體報警系統或廠務設備管理和控制系統(FMCS)系統聯動與安全逃生有關的通道部位，主要有關閉有關部位的電動防火門、防火卷簾門，自動釋放門禁門，可聯動閉路電視監控(CCTV)系統，喚醒、啟動相應區域的攝像機，進人連續錄像，保留證據。
5.4.4 為了保護人員的生命安全，并考慮工廠生產不會因為地震儀的誤動作造成不必要的恐慌而影響生產，本條規定只有當兩臺地震探測裝置同時報警時，才應啟動現場的聲光報警裝置。

5.4.5 本條為強制性條文，必須嚴格執行。本條規定室外大宗硅烷系統與室內硅烷輸送系統探測器的布置原則，規定室外大宗硅烷系統必須設置紫外、紅外火焰探測器，室內硅烷輸送系統應設置火焰探測器或感溫探測器，目的是為了發現早期微量火焰，及早報警并關閉氣體供應系統，杜絕危險環境擴大，保護人員與財產安全。由于室外環境多變，溫度、濕度隨季節變化，規定設置環境適應能力強的紫外、紅外探測器，室內環境相對固定，為增加探測器的選擇范圍，規定設置火焰探測器或感溫探測器，這種規定也是國內電子工廠目前普遍的做法。美國國家標準學會標準《硅烷和硅烷混合物的儲存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.2(火焰偵測)條、11.2.1(室外系統)條、11.2.2(室內系統)條也做了規定，上述條款摘錄如下：
    11.2.1 室外 系 統 ， 當硅烷輸送系統布置在室外時，應布置經核準用于硅烷的火焰探測系統用于潛在的硅烷泄漏區域的火焰偵測，如硅烷瓶支撐架、硅烷集裝瓶組、ISO瓶組、工藝和吹掃氣體盤。用于室外的偵測器應符合硅烷室外條件和經過不受太陽光、電弧焊、人工區域照明，或偏離使偵測器誤動作的紫外或紅外光源的測試。
    11.2.2 室內系統，當硅烷輸送系統布置在室內房間或區域時，火焰偵測系統應適用于硅烷，火焰偵測器按照11.2.2.1、11.2.2.2和11.2.3或酌情進行設置，用于室內的偵測器應經過不受太陽光、電弧焊、人工區域照明，或偏離使偵測器誤動作的紫外或紅外光源的測試。